一个好的反冲洗过滤器冲洗系统必须满足两个要求：最小的反冲洗水用量和经过冲洗后的滤料绝对干净。对于多层滤料池还有第三个要求：当反冲洗完成后，原本不同滤料的滤层必须恢复原状。
当水通过反冲洗过滤器过滤时阻力逐渐增大，当滤池达到最大压头损失或者当滤池的出水阀完全打开时，滤池开始空气和水的反冲洗。气冲过程见图1。
图1 气冲过程
滤池开始用空气和水反冲洗过程如下(见图 2、3)：
图2 气水反冲洗过程
图3 反冲洗示意
准备段：停止进水，待池水面降至沙面以上，开始反冲洗。
空气段：空气从下至上通过滤床，松动污物。
空气/水段：空气结合水以小的速度从下至上通过滤床，冲刷介质中的污物。
水段：水以高速通过滤床冲刷和带走过滤时凝结的污物和附着在滤料上的小气泡。
反冲洗过滤器反冲洗污水通过排泥阀排到反冲洗污水回收槽。
高速冲洗段和污水排放反复进行，直到滤料完全冲洗干净，一般反复两次。
滤料重新排布，完成滤料的再分布，恢复水位到工作水位。
滤池恢复到控制的工作状态使滤料恢复原状，以开始工作负荷。
反冲洗水由反冲洗泵提供，或者由反冲洗过滤器提供。